十萬級無塵車間是一種更高級別的無塵車間，要求空氣中的顆粒物濃度更低。其標準通常是每立方米不超過100,000個顆粒物。

十萬級無塵車間的主要特點和標準包括：

1. 空氣過濾系統：十萬級無塵車間通常配備高效過濾器，如HEPA（高效顆粒空氣過濾器）或ULPA（超高效顆粒空氣過濾器）等，用于過濾空氣中的顆粒物，確保達到要求的顆粒物濃度。

2. 空氣流動控制：車間內的空氣流動需要進行精確控制，以確保顆粒物的均勻分布和有效清除。通常采用負壓或正壓控制，以防止外部空氣進入車間或車間內的顆粒物外溢。

3. 清潔和維護：十萬級無塵車間要求對車間進行定期的清潔和維護，以確保設備、工具和表面的清潔度，減少顆粒物的產生和積累。

4. 人員行為控制：在十萬級無塵車間中，人員需要遵守嚴格的操作規程和穿戴適當的防護服裝，以減少顆粒物的引入和擴散。

十萬級無塵車間主要應用于對顆粒物要求極高的行業，如微電子制造、精密儀器制造、生物醫藥等。